工作时间
早9:00 - 晚18:00
周六日休息
发布日期：2026-6-2 19:24:12 访问次数：79
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参数项 |
规格 |
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测量范围 |
5×10⁻¹¹ mbar ~ 1×10⁻² mbar （5×10⁻⁹ Pa ~ 1 Pa） |
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精度（典型值） |
读数的 ±15%（范围 1×10⁻⁹ ~ 1×10⁻² mbar） |
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重复性 |
读数的 ±5%（典型值） |
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输出信号 |
0 ~ +10 V DC（对数/线性可选） |
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供电电压 |
+14.5 ~ +36 V DC（纹波 ≤ 1 Vpp） |
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功耗 |
最大 2 W |
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接口法兰 |
CF-40（DN 40 CF），不锈钢，金属密封 |
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最大压力 |
绝对压力 10 bar（惰性气体） |
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暴露大气耐受 |
可直接暴露大气，不会烧毁（无热灯丝） |
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工作温度 |
规管：0℃ ~ +55℃（非烘烤）；烘烤温度可定制 |
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烘烤温度 |
移除电子单元后，法兰处可耐受最高 200℃（部分型号） |
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材料 |
电极：不锈钢/镍；绝缘体：陶瓷；磁铁：永磁体 |
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防护等级 |
IP 40 |
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尺寸/重量 |
可参考数据表，典型长度约 100 mm，重量约 0.3 kg |
以上参数基于普发真空公开技术资料，具体以官方最新数据表为准。
无灯丝冷阴极设计：彻底杜绝灯丝烧断风险，意外暴露大气后无需更换，立即恢复测量，大幅降低运维成本。
宽量程覆盖：从 10⁻¹¹ mbar 到 10⁻² mbar，单规即可覆盖从中真空到超高真空的广泛需求。
快速响应与抗污染：独特的放电与磁阱结构能快速清污，适合含有轻微杂气或水蒸气的工业环境。
对数/线性输出可切换：0-10 V 模拟输出可直接匹配 PLC、上位机以及普发真空自有的真空计控制器（如 TPG 361、TPG 366 等）。
CF-40 金属密封接口：确保超高真空下极低的漏率和洁净度，免维护密封，适用于要求严苛的 UHV 系统。
固态磁体稳定可靠：永磁体提供稳定磁场，长期漂移小，免维护。
1、半导体与微电子
PVD / CVD 镀膜工艺腔室
刻蚀设备传输腔、负载锁定腔
高真空排气与检漏
需要快速可靠的高真空测量，且要耐受工艺气体和偶然的大气冲击，IKR 361 是理想选择。
2、工业镀膜与表面处理
光学镀膜、装饰镀膜、卷绕镀膜
玻璃涂覆线、等离子表面处理
宽量程和高耐受性使得它在长周期、频繁破空的镀膜线上表现优异。
3、分析仪器与科研装置
质谱仪、电子显微镜真空系统
表面分析仪器（XPS、AES）
粒子加速器、核聚变实验装置
CF-40 接口兼容标准 UHV 硬管连接，冷阴极规无热灯丝扰动，对极低气体放气敏感，适合精密测量。
4、真空炉与冶金
热处理真空炉、烧结炉
钢水脱气、特种合金熔炼
耐污染、耐震动，可在较脏环境下稳定工作，但需注意金属蒸汽可能影响测量精度，必要时加装挡板。
针对 IKR 361 冷阴极规，结合 CF-40 接口，您可通过以下几点快速确认是否适合：
真空度区间：
若工艺压力常在 10⁻² mbar 以上，建议选用皮拉尼或复合规（如 PKR 361），IKR 361 在此区间精度下降。
若需要 10⁻⁹ mbar 以下的超高真空测量，IKR 361 是最佳选择之一。
气体环境：
适用于惰性气体（Ar、N₂等）、干燥空气。对于氧气或卤素等腐蚀性气体，需评估材料兼容性，可咨询厂家。
若含有大量油蒸汽或粉尘，建议加装过滤挡板并定期清洗。
接口与安装：
已选 CF-40 法兰，确保系统对侧为匹配的 CF-40 刀口法兰，并使用无氧铜垫圈密封。
安装时规管应竖直或朝下，避免颗粒物沉积。避免置于强烈振动或磁场干扰处（规管本身含有强磁体，需避免吸附铁屑）。
控制器匹配：
IKR 361 输出 0-10 V，可接入普发真空 TPG 系列控制器。若使用第三方 PLC，需配置一个 0-10 V 模拟输入通道，并依据对数曲线换算压力值。
若需数显和继电器输出，建议直接配套 TPG 361 或 TPG 366 单通道/多通道控制器。
烘烤与清洁：
超高真空应用需系统烘烤，务必拆下电子单元，仅烘烤法兰以下金属部分。
规管内电极被污染后，可通过高频电子冲击或专用清洗工艺再生，但操作需谨慎。
简单决策路径：若您需要从 10⁻⁹ mbar 到 10⁻² mbar 的连续测量、容忍频繁破空、且接口为 CF-40，IKR 361 就是高度匹配的器件；若对测量范围有更高中真空需求，可叠加皮拉尼规或直接选用复合规
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