半导体/镀膜行业真空阀门首选 | 日扬AVB-KF16-P气动角阀助力产线稳定运行）,现货供应，北京博锐兴真空

一、产品简介

日扬（Htc）——全球市占率前七的真空阀供应商，AVB-KF16-P 气动直角阀已广泛应用于半导体刻蚀、OLED镀膜、光学镀膜等高端制造场景。316Ti波纹管密封 + 单动常闭保护，为您的真空系统保驾护航。

AVB-KF16-P是Htc日扬真空（Htc Vacuum）推出的一款KF法兰气动高真空直角阀，属于AVB系列单动常闭型角阀。该产品采用316Ti不锈钢波纹管密封设计，具备气开弹簧关（Air to open, spring to close）的单动控制方式。

产品名称中的“P”后缀代表气动（Pneumatic）驱动方式，“KF16”表示接口法兰规格为KF16（NW16）。阀门本体及主要部件采用不锈钢材质制造，具有良好的耐腐蚀性和真空适配性-。该产品适用于高真空环境下的管道系统，广泛用于真空排气系统、半导体制程设备及各类研究系统中。

行业应用场景（痛点+解决方案）

�� 半导体制造

痛点：刻蚀/CVD工艺对真空漏率要求极高，阀杆泄漏导致良率下降

方案：316Ti波纹管完全隔绝大气侧与真空侧-，从源头杜绝阀杆泄漏-

�� 光电面板（OLED镀膜）

痛点：破真空阀响应慢，影响产线节拍

方案：气动快速开启及关闭-，响应灵敏，适配自动化产线节奏

�� 真空镀膜设备

痛点：阀门频繁动作，密封件磨损快，维护成本高

方案：简易维修设计，快速拆装更换波纹管和密封元件-；平均无故障时间超百万次周期-

�� 科研实验系统

痛点：实验要求高真空环境稳定，不容许意外泄漏

方案：不锈钢本体 + 波纹管密封-，适用于粗真空至高真空环境-7

客户价值（三点总结）

价值点	说明
高可靠性	316Ti波纹管 + 不锈钢本体，适用于化学和微粒污染环境-
高安全性	单动常闭设计，断气自动保护真空系统-1
低维护成本	模块化设计，现场快速更换易损件，无需整体换阀

二、产品参数

2.1 基本规格

参数项	规格
产品型号	AVB-KF16-P
品牌	Htc日扬真空
法兰规格	KF16（NW16
驱动方式	气动（单动）
动作方式	气开弹簧关（Air to open, spring to close）
波纹管	有（316Ti不锈钢波纹管）
阀体材质	不锈钢（SUS304）
连接形式	KF法兰
压力环境	真空阀（PN<0.1MPa）

2.2 外形尺寸（单位：mm）

尺寸代号	数值
A	54.6
B	156.9
C	57.1
O.D.（法兰外径）	19.05

2.3 性能参数

参数项	规格
适用压力范围	大气压 ~ 高真空
适用介质	空气、惰性气体及真空环境
阀瓣开启高度	40mm-
工作温度	常规室温环境
泄漏率	出厂经氦质谱检漏仪检测

三、选型指南

3.1 型号说明

AVB-KF16-P 各字段含义：

AVB：Htc日扬真空直角阀（Angle Valve with Bellows）系列代号

KF16：接口法兰规格，适配KF16（NW16）标准法兰

P：气动驱动（Pneumatic）

3.2 选型要点

1、法兰规格选择：根据系统管路的法兰尺寸选择对应型号。AVB系列提供KF16、KF25、KF40、KF50等多种规格。KF16适用于较小口径的真空管路。

2、驱动方式选择：

单动常闭型（P） ：通气打开，断气弹簧复位关闭——适用于需要失气保护的应用场景

如需常开型或双动型控制，可选择同系列其他派生型号

3、波纹管配置：AVB系列标配波纹管密封，适用于对真空密封性要求较高的场合。如无需波纹管，可选择AV系列（无波纹管）。

4、控制附件：可根据需求选配位置传感器（如簧片传感器）等附件，实现阀门开关状态的远程监控。

3.3 同系列型号参考

型号	法兰规格	A(mm)	B(mm)	C(mm)
AVB-KF16-P	KF16	54.6	156.9	57.1
AVB-KF25-P	KF25	51.6	150.4	57.1
AVB-KF40-P	KF40	60.9	199.1	76.2
AVB-KF50-P	KF50	86.4	262.4	88.9

四、应用场景

AVB-KF16-P气动直角阀适用于以下典型应用场景：

1、真空排气系统：作为破真空阀或粗抽阀使用，用于真空系统的气体引入或排出。

2、半导体制造设备：适用于半导体生产系统中的真空管路控制，满足高洁净度和高可靠性的工艺要求。

3、光电面板产业：在光电面板生产线的真空镀膜、刻蚀等工艺环节中作为管路控制元件。

4、真空镀膜设备：用于各类真空镀膜机的抽气系统和工艺气体管路控制-。

5、科研与实验室设备：适用于高校、研究所的真空实验装置和科学研究系统-。

6、生技制药业：在生物技术和制药行业的真空干燥、蒸馏等工艺中应用-。

五、注意事项

5.1 安装注意事项

法兰连接：安装前确认KF16法兰及配套卡箍、中心支架、密封圈规格匹配，禁止仅凭目测判断匹配性-。

洁净要求：安装过程中应保持阀门及管路清洁，避免杂物、粉尘进入阀体内部-。

气源要求：确保压缩空气供给压力符合阀门工作要求，管路连接牢固无泄漏-。

安装方向：直角阀的进出口成90°直角，安装时需确认管路布局与流向匹配-。

避免过应力：安装时勿对阀门法兰施加过大的扭曲或弯曲应力，以免影响密封性能。

5.2 使用注意事项

工作介质限制：操作环境限于空气、惰性气体及真空环境-。

压力范围：本产品为真空阀，适用于PN<0.1MPa的低压真空环境-。

温度限制：避免在超出设计温度范围的环境下使用。如需烘烤，请参考具体规格书。

失气保护：单动常闭型阀门在气源中断时自动关闭，设计上具备失效安全保护功能。

超高真空应用注意：超高真空系统（10⁻⁵ Pa以下）建议优先选用CF法兰连接-。

六、日常维护

6.1 定期检查

1、密封性能检查：定期检查阀门的密封结构是否完好，使用检漏仪检测是否存在漏气现象。

2、外观检查：定期检查阀体、法兰、气动执行器及各连接部位是否有异常磨损或腐蚀。

3、动作测试：定期进行开关动作测试，确认阀门开闭顺畅、响应灵敏。

6.2 清洁保养

1、外部清洁：定期清洁阀门表面的灰尘和污垢，保持阀门清洁-。

2、内部清洁：定期清理阀门内部的杂质和污垢，避免异物进入造成故障-。

3、密封圈维护：对于磨损严重的密封圈等部件，应及时更换，以保证阀门的密封性能。

6.3 易损件更换

1、波纹管更换：产品设计支持简易维修，可快速拆装更换波纹管和密封元件--。

2、密封元件：定期检查阀杆密封（如契形特氟隆PTEE密封）-及法兰密封圈，发现老化或损伤及时更换。

七、总结

AVB-KF16-P是Htc日扬真空推出的一款高品质KF16气动高真空直角阀，采用316Ti不锈钢波纹管密封和气开弹簧关的单动控制方式。产品具有结构紧凑（A=54.6mm）、密封可靠、维护简便等特点，广泛应用于半导体、光电、真空镀膜及科研等领域的真空管路系统中-。选型时需根据系统法兰规格、控制方式及附件需求进行匹配，使用中应注意安装规范、介质限制，并做好定期维护保养工作。

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