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发布日期：2026-5-28 20:27:31 访问次数：92
INFICON UL1000 Fab 是工业真空和半导体制造领域经济型氦气真空泄漏检测的公认标准。它以 ULTRATEST™ 传感技术为核心，定义了新一代“干式”真空检漏的行业标杆。
该仪器核心亮点在于其干式泵系统，从根源上杜绝了传统油封泵可能带来的碳氢化合物反流或颗粒污染，确保被测部件和设备的绝对洁净。它在性能、稳健性和经济性之间实现了极佳平衡，提供了高达 5×10⁻¹² mbar·L/s 的顶级检测极限，同时兼具较短的抽气与响应时间。紧凑设计赋予了它高度的机动性，方便进入空间受限的维护区域。
作为 INFICON 长期合作伙伴，北京博锐兴高科技有限公司为您提供原装进口正品、专业选型指导和全生命周期的售后技术支持。
1. 干式泵技术，杜绝污染
仪器采用干式泵系统，完全消除了油蒸汽反流和颗粒污染的风险。这对于半导体、平板显示器等对洁净度要求苛刻的工艺至关重要，是真正的“洁净”检漏方案。
2. iZERO 背景抑制，2 秒归零
可选配的 iZERO 背景本底抑制功能，能够在 2 秒内将当前氦气背景水平降至可忽略状态，无需长时间吹扫即可持续进行泄漏测试。在高氦气背景环境中，这一功能可避免反复测试，显著提升效率。
3. 耐用双离子源，低拥有成本
配备两个铱/钇涂层热丝离子源，提供三年质保。即使一个离子源发生故障，另一个也能立即接管工作，最大化设备正常运行时间。配合耐用的逆流式真空系统，实现了极低的长期拥有成本。
4. SMART-Spray 智能喷枪，简化操作
摒弃了大型氦气瓶和笨重软管，SMART-Spray 智能氦气喷枪简化了检漏流程，减少了手动氦气流量调整，让操作更快、更简单、更可靠，同时最大限度降低了氦气消耗和背景水平。
5. SPRAY-Check 喷淋检漏，随时验证
内置 SPRAY-Check 喷淋检漏功能，可在 10⁻⁹ 至 10⁻⁸ mbar·L/s 范围内验证检漏仪的功能与就绪状态，为每一次测试提供可靠保障。
6. 人性化操作设计
配备可旋转显示屏、声音和灯光泄漏提示以及可选远程控制，适应各种操作角度与狭窄空间。内置泄漏测试和自动校准程序，极大降低了日常维护成本和操作复杂度。
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参数项 |
规格 |
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品牌/型号 |
瑞士 INFICON UL1000 Fab |
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检测技术 |
ULTRATEST™ 传感技术 |
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质量范围 |
2、3、4 amu |
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质谱仪 |
180° 扇形磁场 |
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灯丝离子源 |
2 个铱/钇涂层热丝离子源（三年质保） |
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氦气最小检测泄漏率（真空法） |
< 5×10⁻¹² mbar·L/s |
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氦气最小检测泄漏率（嗅探模式） |
< 5×10⁻⁸ mbar·L/s |
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最大入口压力（GROSS 模式） |
15 mbar |
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最大入口压力（FINE 模式） |
2 mbar |
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最大入口压力（ULTRA 模式） |
0.4 mbar |
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前级真空泵类型 |
干式泵系统 |
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抽速（排空时） |
16 m³/h @ 50 Hz |
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氦气抽速（ULTRA 模式） |
2.5 L/s |
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测试端口 |
DN 25 KF |
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内置校准泄漏 |
10⁻⁷ mbar·L/s |
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可调节触发阈值 |
2 个 |
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通讯接口 |
RS232，兼容 PLC 输入/输出 |
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图表记录器输出 |
2 × 10V |
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环境温度（运行） |
10～40°C |
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电源电压 |
230V/115V/100V (±10%)，50/60Hz |
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功耗 |
1100 VA |
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重量 |
110 kg（242 Lbs） |
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外形尺寸（长×宽×高） |
1068 × 525 × 850 mm（42 × 21 × 33 in） |
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应用类别 |
具体场景 |
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半导体制造 |
刻蚀、沉积、离子注入等工艺腔体的泄漏检测 |
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平板显示器与太阳能电池 |
真空镀膜设备的泄漏点精准定位 |
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工业真空设备制造 |
对洁净度要求严苛的真空组件出厂检验 |
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真空工具维护 |
带有或不带泵支持的真空工具泄漏排查 |
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工艺气体系统 |
气体管路的检查与安装验收 |
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真空组件验收 |
将真空组件安装到现有工具前的完整性验证 |
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应用需求 |
推荐配置 |
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日常工业检漏，注重性价比 |
UL1000 Fab 标准版 |
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高氦气背景环境，需快速归零 |
选配 iZERO 背景抑制 |
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大面积扫描检测 |
增配 SMART-Spray 智能喷枪 |
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需定期验证检漏仪状态 |
启用 SPRAY-Check 功能（内置） |
UL1000 Fab 为瑞士 INFICON 原装进口高端检漏设备，根据仪器信息网等公开平台的市场参考信息，其价格通常在 ¥25万-35万元 区间。具体成交价取决于选配功能和售后服务条款。
我们承诺提供：
正规报关进口，瑞士原装正品
厂方完整质保
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服务项目 |
内容 |
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安装调试 |
专业工程师上门安装、调试与现场操作培训 |
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年度校准 |
内置校准泄漏源定期校验，确保检测精度 |
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离子源更换 |
双热丝离子源更换（三年质保期内免费） |
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故障诊断 |
抽速下降、背景漂移、灵敏度异常等故障排查与修复 |
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操作培训 |
SMART-Spray、iZERO、SPRAY-Check 等功能的专项培训 |
北京博锐兴高科技有限公司是 INFICON 授权代理商，同时代理爱德华、普发、安捷伦、岩田、莱宝、瑞士 VAT 等国际知名真空品牌，为清华大学、北京大学、中科院系统及半导体、光电行业企业提供专业的真空设备与检漏解决方案。
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