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普发涡轮分子真空泵HiPace 400

发布日期:2026-3-31 9:36:24 访问次数:55

普发涡轮分子真空泵HiPace 400

普发涡轮分子泵Hipace 400

普发分子泵现货北京发货

可靠
同类产品中最佳的混合轴承技术,卓越的轴承润滑,使用寿命长
性能卓越
优化转子几何形状,提高气体负载处理能力
高气体流量
高抽速,与多种前级泵兼容,对轻质气体具有出色的压缩比

技术参数 HiPace 400,搭配 TC 400 24 V
氢气抽速 445 l/s
氦气抽速 470 l/s
氩气抽速 320 l/s
氮气抽速 355 l/s
氢气压缩比 4 · 10⁵
氦气压缩比 3 · 10⁷
氩气压缩比 1 · 10¹¹
氮气压缩比 1 · 10¹¹
最终转速下的氢气气体流量 14 hPa l/s
最终转速下的氦气气体流量 20 hPa l/s
最终转速下的氩气气体流量 3.5 hPa l/s
最终转速下的氮气气体流量 6.5 hPa l/s
适用于氮气的最大前级真空 11 hPa
启动时间 4 最小
可选通信接口 Profibus、Profinet、Ethercat、Devicenet、Semi E74
标准通信接口 RS-485,远程
安装方向 任意
声压级(EN ISO 2151) 50 dBA
重量(约) 11.6 kg
进气口 DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F
排气口 DN 25 ISO-KF /G 1/4"
应用方向

1、车辆及运输
太空探索
2、医疗
诊断成像
医用加速器
质谱仪
3、发电
绿色能源生产
4、研发
太空探索
超高真空
质谱分析
5、科学仪器
质谱分析
表面分析
6、半导体
LPCVD / 扩散
剥离 / 灰化
PVD
检验与计量
Si Poly etch
轻沉积
离子注入
PECVD
光刻技术
金属和高 K 蚀刻
氧化物蚀刻
Load lock 和 传输
ALD
6、技术气体
装瓶


工作时间

早9:00 - 晚18:00

周六日休息

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