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发布日期：2026-6-15 20:47:01 访问次数：38
北京博锐兴高科技有限公司
客户类型：某科研单位激光纳米实验室
应用方向：超快激光与纳米材料相互作用实验平台
核心要求：实验腔体需维持 5.0E-5 Pa 以下的高真空环境，以保证激光光路洁净及纳米级样品处理效果。
三、故障设备信息
分子泵型号：中科科仪 FF-100/110
故障现象：分子泵可正常启动并达到满速（额定转速），但实验腔体极限真空仅能抽至 2.0E-3 Pa 左右，远无法满足实验所需的高真空标准。
四、故障现象详细描述
1、泵体状态正常：分子泵通电后正常加速，约 8 分钟达到满速，泵体电流、振动、噪音均在正常范围，表面温度无异常升高。
2、真空度停滞：系统连续抽气超过 4 小时，真空计示值始终徘徊在 2.0E-3 Pa 附近，无法继续下降。
3、隔离测试指向腔体：关闭腔体与分子泵之间的高真空插板阀，分子泵入口侧真空迅速抽至 5.0E-5 Pa 以下，证实分子泵本身抽气能力正常。重新打开阀门，腔体压力回升，判断泄漏源位于腔体侧。
4、实验无法进行：不达标的真空度导致激光传输中产生散射、样品表面吸附杂质，纳米实验被迫中断。
为高效定位泄漏点，北京博锐兴高科技有限公司派出专业工程师携带普发 ASM 340 氦质谱检漏仪到场检测。
1、将 ASM 340 检测口连接至腔体预留的检漏法兰，分子泵对腔体持续抽真空，检漏仪进入真空法检测模式。
2、使用高纯氦气喷枪，对腔体所有 CF 法兰接口、观察窗密封面、真空规接头、电极引入法兰及波纹管焊缝逐一喷射氦气。
3、当氦气喷至主腔体下部 CF-F 法兰连接处时，检漏仪氦离子信号从背景水平（约 1.0E-9 Pa·m³/s）瞬间跃升至 8.5E-7 Pa·m³/s，氦气移除后信号迅速回落至基线。
4、重复测试三次，结果一致，确认该法兰为泄漏源。
1、直接原因：CF-F 法兰连接处无氧铜垫圈密封失效，外部大气持续漏入腔体，破坏高真空。
2、失效机制：该垫圈已多次拆装使用，铜垫圈刀口压痕已塑性变形至极限，金属弹性耗尽，无法再次形成有效密封。同时存在螺栓预紧力不均匀问题。
3、为什么分子泵满速却真空差：分子泵抽气能力正常，但漏入的气体量与泵在高真空下的抽气速率达到动态平衡，使腔体压力无法下降至目标值，表现即为“真空抽不下去”。
七、维修步骤（北京博锐兴高科技有限公司现场实施）
关闭分子泵电源，待转子完全停止。
向腔体充入高纯氮气至大气压。
戴洁净丁腈手套，对角松开该 CF-F 法兰螺栓，取下失效的无氧铜垫圈。
目视检查两侧法兰刀口：刀口光滑无崩口、无贯穿性划痕，可继续使用。
用无尘布蘸无水乙醇，反复擦拭刀口及密封平面，去除微小金属碎屑和污染物。
待酒精完全挥发、密封面干燥后方可安装新垫圈。
选用原厂规格 CF-F 无氧铜垫圈（材质 OFHC 无氧铜，符合 ISO 3669 标准），一次性使用。
将新垫圈轻轻放置于法兰中心，确保与刀口同心。
使用扭矩扳手，按对角顺序分三步逐步紧固螺栓至规定扭矩，确保法兰面平行受压，垫圈均匀变形。
重新开启分子泵抽真空，待检漏仪就绪后对更换后的法兰接口再次喷氦。
ASM 340 信号全程无波动，稳定在背景水平，确认漏点完全消除。
系统连续抽气，真空计示值持续下降。
约 2.5 小时后，极限真空达到 3.2E-5 Pa，优于客户要求的 5.0E-5 Pa 标准，读数稳定无回升。
进行保压测试，压力上升率远低于允许值，气密性合格。
客户现场确认达标，实验恢复进行。
1、故障性质：非分子泵故障，属真空密封件（无氧铜垫圈）老化失效导致的外部泄漏。
2、维修关键：更换全新无氧铜垫圈，并以对角顺序、分步力矩紧固。
3、检漏仪核心作用：普发 ASM 340 氦检漏仪精准快速定位漏点，避免盲目拆装，节省维修时间和科研进度。
4、专业服务体现：北京博锐兴高科技有限公司提供从故障诊断、氦检漏定位到密封件更换和真空度验证的一站式服务，确保设备恢复至出厂性能。
1、一次性垫圈原则：CF-F 法兰每次拆卸后必须更换新无氧铜垫圈，严禁复用。
2、定期预防性检漏：建议每半年使用氦检漏仪对关键密封面进行普检，早发现早处理，避免影响实验。
3、规范安装习惯：使用扭矩扳手按对角、分步方式紧固，确保受力均匀。
4、真空系统健康监测：建立真空系统极限真空和保压测试档案，实时掌握系统气密性变化趋势。
5、专业团队保障：如真空设备出现异常，请联系 北京博锐兴高科技有限公司 获取专业技术支持。
�� 真空故障紧急响应：
赵经理、张经理13520003658/13311223897/13311311498
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服务项目 |
内容 |
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涡旋干泵维修 |
莱宝 SCROLLVAC 全系列、安捷伦 IDP 系列、爱德华 nXDS 系列、岩田ISP系列密封条更换、轴承更换 |
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分子泵维修 |
普发 HiPace/ACP 全系列轴承更换、动平衡校正 |
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普发 DUO 系列旋片更换、密封件更换 |
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安捷伦 VacIon Plus 全系列清洗、高压馈入更换 |
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