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发布日期：2026-4-23 15:54:03 访问次数：26
问题一： 普发 HiPace 700 分子泵的核心参数是多少？有哪些子型号可选？
解答（参数与选型篇）：
HiPace 700 是德国普发真空旗下的高性能涡轮分子泵，氮气抽速达 685 L/s，搭载 TC 400 集成驱动单元，支持任意方向安装，广泛用于半导体、镀膜、OLED、科研等高真空应用场景。
核心参数一览：
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参数项 |
规格 |
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抽速（N₂） |
685 L/s |
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抽速（Ar） |
665 L/s |
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抽速（H₂） |
555 L/s |
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抽速（He） |
655 L/s |
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极限真空度 |
标准版 < 1×10⁻⁷ hPa；CF-F 版 < 5×10⁻¹⁰ hPa |
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建议启动压强 |
≤ 11 hPa |
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额定转速 |
49,200 RPM（±2%） |
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运行电压 |
48 VDC ±5%（部分子型号 24 VDC） |
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进气口法兰 |
DN 160 ISO-K / ISO-F / CF-F |
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排气口法兰 |
DN 25 ISO-KF / G 1/4" |
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冷却方式 |
风冷（标配）/ 水冷（可选，15-35°C，100 L/h） |
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轴承类型 |
复合轴承（高真空侧永磁轴承 + 前级侧陶瓷球轴承） |
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噪音等级 |
≤ 50 dB(A) |
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防护等级 |
IP54 |
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重量 |
约 38-44 kg |
HiPace 700 子型号差异 ：
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子型号后缀 |
含义 |
适用场景 |
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标准版 |
通用型，风冷/水冷可选 |
大多数高真空应用 |
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P（Process） |
耐颗粒设计，耐灰尘 |
镀膜、半导体、电子束焊接等易受灰尘影响的工艺 -1 |
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Plus |
微振动 + 低杂散磁场 |
电子显微镜等高要求分析设备 -1 |
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H（High Compression） |
高压缩比，尤其适用于轻质气体 |
超高真空（UHV）应用 -1 |
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M |
5轴磁悬浮轴承，完全无油运行 |
半导体光刻、离子注入等对振动和洁净度极致要求的工艺 -7 |
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U（Upside-down） |
倒置安装专用 |
特定安装方向需求 |
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C（Corrosive） |
耐腐蚀气体版本 |
含腐蚀性气体的工艺环境 |
选型建议：科研实验室一般场景选标准版即可；若涉及含粉尘工艺（如镀膜）建议选 P 系列；若用于 SEM/TEM 等对振动敏感设备，建议选 Plus；若追求极高真空和轻质气体抽除能力，选 H 系列。
问题二： HiPace 700 日常运行需要注意什么？冷却系统有什么要求？
解答（使用规范篇）：
1. 冷却系统要求 ：
HiPace 700 标配风冷，可选配水冷
水冷参数：冷却水温度 15-35°C，消耗量 100 L/h，最大水压 6 bar
风冷套件：可选配普发原厂径向空气冷却风扇（型号 PM Z01 303 A），安装于泵体侧面，由 TC 400 的 M12 附件接口供电，泵启动即自动运行
若冷却不足，可能导致泵体过热报警或自动停机
2. 安装与环境要求 ：
泵体可任意方向安装（Plus 版本需竖直安装、法兰口朝上）
环境温度：风冷 +5°C 至 +35°C，水冷 +5°C 至 +40°C
相对湿度：T≤31°C 时 ≤80%，T=40°C 时 ≤50%
安装海拔：≤ 2000 m
进气口建议加装防碎网或保护屏，防止异物进入
3. 电源与控制器：
标准版使用 48 VDC 供电，需配合原厂电源（如 TPS 400 或 DCU 400）
TC 400 电子驱动单元集成在泵体上，支持 RS-485 通讯和 Remote 接口远程控制
电气连接时务必确保接地良好，避免电击风险
4. 维护提醒：
复合轴承分子泵建议 约 17,200 小时或 3-4 年保养一次，工艺恶劣时应缩短周期
定期检查油棉状态（变黑、发黄需更换）
问题三： HiPace 700 常见故障有哪些？如何排查？
解答（故障排查篇）：
根据普发维修经验，HiPace 700 常见故障及排查步骤如下 ：
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故障现象 |
可能原因 |
排查动作 |
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真空度正常、能达到全速，但噪音大 |
陶瓷球轴承磨损（最常见，运行超3年高发） |
建议送修检测，放任不管会磨损转子造成更严重损伤 |
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无法启动，手拨叶片无法转动 |
转子完全卡死 |
立即停机送修 |
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运行中有异响 |
异物进入 / 轴承磨损 / 动平衡破坏 / 前级泵返油 |
立即停机，送修检测 |
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无法达到全速，真空度抽不下去 |
前级真空问题 / 系统漏气 / 泵体污染 |
检查前级泵性能；开气镇阀运行一段时间后再观察；无法解决则送修 |
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控制器报错 Err 006 |
启动时间设定太短 / 系统漏气 / 放气阀打开 / 前级泵极限真空不足 |
延长加速时间设定；逐段检漏；检查前级泵 |
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控制器报错 Err 021 / Err 108 |
控制器故障 |
更换或维修控制器 |
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控制器报错 Err 117 |
控制器问题 / 冷却不足 / 系统漏气 |
检查冷却系统；检漏；控制器检测 |
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油棉变黑、发黄 |
正常老化或污染 |
3-4年定期更换油棉，避免污染物附着轴承 -2 |
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分子泵返油 |
前级泵返油导致 |
检查前级泵，立即送修分子泵 |
复位操作：可通过断电重启或 Remote 接口信号复位故障。
问题四： HiPace 700 多久需要保养一次？保养包含哪些内容？
解答（维护保养篇）：
1. 保养周期 ：
普发建议 HiPace 700 复合轴承分子泵约 17,200 运行小时或 3-4 年进行一次标准保养
M 系列磁悬浮版本保养间隔可延长至 4 年
若工艺环境恶劣（粉尘多、气体腐蚀性强），建议缩短至 2 年
2. 需要送检的信号：
噪音明显增大
振动加剧
抽气性能显著下降
控制器频繁报警
油棉颜色异常
达到保养周期
3. 保养内容 ：
洁净环境下拆解、清洗泵体内部
更换陶瓷球轴承、密封件等消耗件
更换油棉（轴承润滑油储罐）
转子动平衡校正
台架老化测试，记录抽速曲线、极限真空、振动数据
维修后出具检测报告
4. 保养后性能标准：
抽速恢复至新泵标称值的 95% 以上
振动速度 < 1.0 mm/s (RMS)
启动时间正常（≤ 4.5 分钟）
问题五： HiPace 700 噪音大但真空度正常，需要立即处理吗？
解答：
这是 HiPace 系列运行 3 年以上较常见的现象，通常是内部陶瓷球轴承已磨损导致的 。
处理建议：
不要继续带病运行——磨损的轴承滚珠碎屑可能损伤高速旋转的转子（49,200 RPM），造成更严重的二次损坏，甚至转子报废
建议尽快送检，更换轴承组件和油棉
若放任不管，最终可能导致转子卡死、整泵报废，维修成本大幅上升
问题六： HiPace 700 与 HiPace 400 / 300 有什么区别？怎么选？
解答（系列对比篇）：
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对比维度 |
HiPace 300 |
HiPace 400 |
HiPace 700 |
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氮气抽速 |
260-300 L/s |
355 L/s |
685 L/s |
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进气口法兰 |
DN 100 ISO-K/CF |
DN 100 ISO-K/CF |
DN 160 ISO-K/CF |
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极限真空 |
≤ 7.5×10⁻¹¹ hPa |
≤ 1×10⁻⁷ hPa |
< 1×10⁻⁷ hPa（CF-F <5×10⁻¹⁰） |
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额定转速 |
最高 90,000 rpm |
49,200 rpm |
49,200 rpm |
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重量 |
约 23-25 kg |
约 30 kg |
约 38-44 kg |
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适用腔体 |
中小型真空腔 |
中型真空腔 |
大型真空腔、多腔体系统 |
选型建议：
腔体容积 < 100L，选 HiPace 300 即可
腔体容积 100-200L，HiPace 400 性价比高
腔体容积 > 200L 或需要快速抽空，选 HiPace 700
OLED 镀膜机等大型设备，HiPace 700 是行业标配 -5
关于北京地区的 HiPace 700 维修服务
我司 北京博锐兴高科技有限公司 承接普发 HiPace 全系列分子泵的检测、保养、维修服务，服务覆盖北京海淀区中关村、怀柔科学城、昌平生命科学园等科研聚集区。
服务内容：HiPace 700 轴承更换、动平衡校正、油棉更换、控制器维修、年度保养
服务流程：上门初检 → 诊断报价 → 洁净间维修 → 台架测试 → 现场安装调试
增值服务：维修期间可提供代用泵，保障实验连续性
服务热线北京地区故障响应：13520003658/13311223897/13311311498（7*24）
