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普发涡轮分子真空泵HiPace 80 Neo

发布日期:2026-4-1 9:40:40 访问次数:78

普发涡轮分子真空泵HiPace 80 Neo

技术参数 HiPace 80 Neo,搭配 TC 80
氢气抽速 48 l/s
氦气抽速 58 l/s
氩气抽速 66 l/s
氮气抽速 67 l/s
氢气压缩比 1.4 · 10⁵
氦气压缩比 1.3 · 10⁷
氩气压缩比 1 · 10¹¹
氮气压缩比 1 · 10¹¹
最终转速下的氢气气体流量 15.3 hPa l/s
最终转速下的氦气气体流量 2.7 hPa l/s
最终转速下的氩气气体流量 0.54 hPa l/s
最终转速下的氮气气体流量 1.3 hPa l/s
适用于氮气的最大前级真空 22 hPa
启动时间 1.25 最小
可选通信接口 通过 CIP 适配器实现 EtherCAT 和 Profinet 通信
标准通信接口 RS-485,远程
安装方向 任意
声压级(EN ISO 2151) 48 dBA
重量(约) 1.7 kg
进气口 DN40/DN 63 ISO-K/ISO-KF/CF-F
排气口 G 1/4"
市场和应用
1、车辆及运输
泄漏检测和 EoL 测试
太空探索
3D 打印
2、电池
泄漏检测和 EoL 测试(主控)
3、化学品
实验室真空
4、氢能经济
泄漏检测和 EoL 测试(主控)
5、医疗
实验室真空
质谱仪
6、冶金
3D 打印
7、制药与生物技术
实验室真空
8、发电
绿色能源生产
9、研发
高能物理
光子学研究
太空探索
超高真空
低温工程
等离子体物理
实验室真空
质谱分析
10、制冷和空调
泄漏检测和 EoL 测试
11、科学仪器
质谱分析
表面分析
电子显微镜
12、半导体
LPCVD / 扩散
剥离 / 灰化
PVD
检验与计量
Si Poly etch
轻沉积
离子注入
PECVD
光刻技术
金属和高 K 蚀刻
氧化物蚀刻
Load lock 和 传输
ALD
13、技术气体
装瓶
14、薄膜镀层
装饰涂层
实验室涂层
耐磨损涂层

工作时间

早9:00 - 晚18:00

周六日休息

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