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发布日期:2026-4-15 9:33:22 访问次数:5
在质谱分析或电子显微镜等应用中,真空泵机组本身作为涡轮分子真空泵的前级泵使用。这是因为涡轮分子真空泵需要前级泵方可达到高真空度(≤ 10-3 hPa (mbar))。单台真空泵,如旋片式真空泵,无法独立实现所需低压,因此需要额外配备罗茨泵以产生所需的真空条件或应对大气压至真空的压差。
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