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离子泵如何提高对惰性气体的抽气效率?

发布日期:2026-4-1 10:07:21 访问次数:61

惰性气体(如氩气)不能通过化学吸附作用进行抽除;因此,必须将这些惰性气体原子引向阳极,并在阳极被抽除。实现这一过程有两种方式:使用更重的阴极材料(如钽),或采用不同的几何结构(如 Triode 结构)。

工作时间

早9:00 - 晚18:00

周六日休息

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