离子泵如何提高对惰性气体的抽气效率？

发布日期：2026-4-1 10:07:21 访问次数：61

惰性气体（如氩气）不能通过化学吸附作用进行抽除；因此，必须将这些惰性气体原子引向阳极，并在阳极被抽除。实现这一过程有两种方式：使用更重的阴极材料（如钽），或采用不同的几何结构（如 Triode 结构）。