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发布日期:2026-3-23 11:08:03 访问次数:231
德国普发真空(Pfeiffer Vacuum)HiPace 300 是一款紧凑型高性能涡轮分子泵,在科研与工业领域享有极高声誉。该泵氮气抽速达 260 L/s,采用成熟的混合轴承技术,集成 TC 400 驱动单元,以高可靠性、低振动、长维护间隔著称。
作为普发真空产品授权代理商,北京博锐兴高科技有限公司拥有 20 余年销售维修经验,已为华中科技大学武汉光电国家研究中心等众多高校及科研单位供货,提供原装进口正品现货、选型技术支持和完善的售后维修服务。

HiPace 300 提供多种法兰接口,以满足不同真空系统的需求:
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参数项 |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF-F |
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氮气抽速 |
260 L/s |
260 L/s |
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极限真空 |
1×10⁻⁷ hPa |
5×10⁻¹⁰ hPa |
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最大转速 |
60,000 RPM |
60,000 RPM |
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进气口法兰 |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF-F |
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排气口法兰 |
KF-16 / G 1/4" |
KF-16 / G 1/4" |
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启动时间 |
≤ 4.5 分钟 |
≤ 4.5 分钟 |
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冷却方式 |
水冷(标配)/ 风冷(可选) |
水冷(标配)/ 风冷(可选) |
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控制器 |
TC 400 集成驱动单元 |
TC 400 集成驱动单元 |
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通讯接口 |
RS-485、Remote(26 针 D-Sub) |
RS-485、Remote(26 针 D-Sub) |
通用参数:
轴承类型:混合轴承(前级侧陶瓷球轴承 + 高真空侧永磁径向轴承)
工作电压:24 VDC
最大功率:300 W
安装方向:任意
维护周期:约 4 年或 30,000 运行小时
噪音水平:≤ 50 dB(A)
推荐前级泵:HiScroll 12 干式涡旋泵
1. 混合轴承——高可靠、长寿命、免电磁
HiPace 300 采用混合轴承系统:前级真空侧使用陶瓷球轴承,高真空侧使用永磁径向轴承。该设计不需要电磁铁,寿命更长、可靠性更高。典型维护间隔约 4 年或 30,000 小时,配合可现场更换的油棉(润滑储罐),大幅减少停机时间。
2. 宽泛的法兰选择——适配不同真空等级
DN 100 ISO-K 法兰:适合常规高真空应用(10⁻⁷ hPa 量级),弹性体 O 型圈密封,安装便捷。
DN 100 CF-F 法兰:适合超高真空(UHV)应用,金属密封,极限真空可达 5×10⁻¹⁰ hPa,烘烤温度可达 120°C。
3. 高压缩比——轻松应对轻质气体
HiPace 300 对氢气、氦气等轻质气体具有极高的压缩比。其 HiPace 300 H 子型号氢气压缩比可达 10⁷,非常适合质谱分析和表面科学等对残余气体本底要求苛刻的应用。
4. 灵活的系统集成
泵体可任意方向安装,TC 400 驱动单元集成在泵体侧面,支持 RS-485 和 Remote 远程控制接口,轻松融入各类真空系统。可选配风冷套件替代水冷,进一步简化安装。
HiPace 300 提供多个子型号以满足不同应用场景:
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子型号 |
特点 |
适用场景 |
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HiPace 300(标准版) |
通用型 |
大多数高真空应用 |
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HiPace 300 H |
高压缩比,氢气压缩比达 10⁷ |
质谱、表面分析等需极低残余气体本底的应用 |
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HiPace 300 Plus |
低振动、低杂散磁场 |
电子显微镜(SEM/TEM)等高精度分析仪器-9 |
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HiPace 300 P |
耐颗粒、耐粉尘设计 |
镀膜、半导体等工业工艺-9 |
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HiPace 300 C |
耐腐蚀气体版本 |
含腐蚀性气体的工艺环境-9 |
选型建议:科研实验室通用场景选标准版即可;若用于 SEM 等对振动敏感设备,优选 Plus;涉及含粉尘工艺选 P 系列;追求极高真空和低残余气体本底选 H 系列。
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技术参数 |
HiPace 300 搭配 TC 110 |
HiPace 300 搭配 TC 400 |
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氢气抽速 |
220 l/s |
220 l/s |
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氦气抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
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氩气抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
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氮气抽速 |
260 l/s |
260 l/s |
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氢气压缩比 |
9 · 10⁵ |
9 · 10⁵ |
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氦气压缩比 |
1 · 10⁸ |
1 · 10⁸ |
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氩气压缩比 |
1 · 10¹¹ |
1 · 10¹¹ |
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氮气压缩比 |
1 · 10¹¹ |
1 · 10¹¹ |
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最终转速下的氢气气体流量 |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
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最终转速下的氦气气体流量 |
8 hPa l/s |
20 hPa l/s |
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最终转速下的氩气气体流量 |
2 hPa l/s |
7 hPa l/s |
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最终转速下的氮气气体流量 |
5 hPa l/s |
14 hPa l/s |
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适用于氮气的最大前级真空 |
15 hPa |
20 hPa |
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启动时间 |
3.5 最小 |
1.8 最小 |
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可选通信接口 |
Profibus、Devicenet、Semi E74 |
Profibus、Profinet、Ethercat、Devicenet、Semi E74 |
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标准通信接口 |
RS-485,远程 |
RS-485,远程 |
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安装方向 |
任意 |
任意 |
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声压级(EN ISO 2151) |
50 dBA |
50 dBA |
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重量(约) |
6.2 kg |
6.7 kg |
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进气口 |
DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F |
DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F |
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排气口 |
DN 16 ISO-KF /G 1/4" |
DN 16 ISO-KF /G 1/4" |
分析仪器:质谱仪(MS)、电子显微镜(SEM/TEM)、检漏仪、残余气体分析(RGA)
镀膜与半导体:溅射、PVD、CVD、分子束外延(MBE)
表面科学:XPS、AES、STM 等表面分析设备
科研实验室:高真空/超高真空系统、物理实验装置
工业制造:灯管制造、光伏、光学镀膜
HiPace 300 为德国原装进口,市场价格根据法兰接口和子型号配置有所差异。根据公开渠道信息,单泵价格区间约在 ¥5万-8万元,整体系统含控制器则价格更高。
作为普发授权代理商,我们承诺提供:
正规报关进口,全新原厂正品
厂方完整质保
具有竞争力的价格
联系下方产品经理获取您专属的报价方案。
现货情况:北京博锐兴高常备 HiPace 300 各型号现货,可快速交付北京高校及科研院所。
除了新泵销售,我们同样擅长 HiPace 系列分子泵的专业维修与保养:
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服务项目 |
内容 |
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分子泵维修 |
轴承更换、动平衡校正、油棉更换、控制器维修 |
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年度保养 |
泵体检测、性能评估、消耗件更换 |
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故障诊断 |
异响、抽速下降、无法启动等故障排查与修复 |
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技术支持 |
选型咨询、系统配套建议、安装调试指导 |
我们此前已处理过普发 HiPace 300 分子泵的轴承异响、控制器故障、无法启动等典型故障案例,积累了丰富的实战维修经验。
北京博锐兴高科技有限公司 | 普发真空产品授权代理商
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